Large-Scale Synthesis of Water Dispersible Ceria Nanocrystals by a Simple Sol–Gel Process and Their Use as a Chemical Mechanical Planarization Slurry
Ceria nanocrystals with a cube shape were synthesized from the hydrolytic sol–gel reaction of cerium salt in the presence of oleylamine. The overall synthetic process is very simple and readily applicable to the large-scale synthesis of tens of grams of product in a single reaction in air. These ceria nanocrystals are readily dispersible in aqueous [...]
О взаимодействии диоксида церия с гидроксиламином
Суспензии, содержащие диоксид церия, широко используются для химико-механического полирования тонких пленок кремния, получаемых методом осаждения из газовой фазы. В настоящей работе предложен новый метод эффективного удаления остаточных наночастиц диоксида церия с использованием смешанных растворов гидроксиламина и лимонной кислоты.
Ceria containing slurries are increasingly used in the chemical mechanical polishing of CVD silicon oxide films to obtain [...]
Русский
